[发明专利]公转式旋转干燥机垂直重心调节装置有效
| 申请号： | 201210291210.1 | 申请日： | 2012-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103629913A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡亮;陈威;岳丰 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 发明公开了一种公转式旋转干燥机垂直重心调节装置，安装于公转式旋转干燥机水平旋转轴的两端位于硅片盒的外侧，包括：安装于外壳体内的内壳体；安装于内壳体底部的电动机；连接电动机的传动机构；穿设于所述传动机构的传动螺杆上的配重块；安装于传动机构的传动螺杆旁侧的用于检测配重块位置的位置传感器；固定于内壳体顶上，外壳体内的质量补偿块；平衡装置控制器，使所述电动机通过传动机构控制所述传动螺杆上的配重块移动。本发明安装于公转式旋转干燥机水平旋转轴上，通过对旋转轴两端垂直方向实施配重，改善了现有公转式旋转干燥机因为硅片放置位置/数量的差异导致在高速旋转过程中机械振动增大，旋转不稳定的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 公转 旋转 干燥机 垂直 重心 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种公转式旋转干燥机垂直重心调节装置，安装于公转式旋转干燥机水平旋转轴的两端位于硅片盒的外侧，其特征是，包括：安装于外壳体内的内壳体；安装于内壳体底部的电动机；连接电动机的传动机构；穿设于所述传动机构的传动螺杆上的配重块；安装于传动机构的传动螺杆旁侧的用于检测配重块位置的位置传感器；固定于内壳体顶上，外壳体内的质量补偿块；平衡装置控制器，接收公转式旋转干燥机可编程逻辑控制器输出的装载硅片位置和数量信息，计算出所述电动机的步进数，使所述电动机通过传动机构控制所述传动螺杆上的配重块移动；所述传动机构包括：连接所述电动机和传动皮带轮的传动皮带，套设在所述传动螺杆上传动皮带轮，固定在所述内壳体底部的基座，垂直安装于所述基座上的传动螺杆。
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