[发明专利]光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物有效
| 申请号： | 201210287599.2 | 申请日： | 2012-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103186039A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李种和;赵显龙;郑闵鞠;郑知英;车明焕 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;C08G8/30;G03F7/09;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;王玉桂 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 |
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| 搜索关键词： | 光敏 酚醛 清漆 树脂 包含 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光敏酚醛清漆树脂，包含：由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元，[化学式1]![]()
[化学式2]![]()
其中，在化学式1和2中，R11和R12独立地为氢或醌二叠氮磺酰基，其中所述光敏酚醛清漆树脂中的R11和R12的50%以上为醌二叠氮磺酰基，R13和R14独立地为C1至C7烷基，并且当在所述光敏酚醛清漆树脂中化学式1的结构单元数为x，并且化学式2的结构单元数为y时，x+y为2至30，并且x/(x+y)为0.6至0.95。
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