[发明专利]用于平板显示器的化学气相沉积装置

摘要

本发明公开一种用于平板显示器的化学气相沉积（chemical vapor deposition；CVD）装置，所述装置包括：基座，用于支撑基板；真空室，在所述真空室中对所述基板执行沉积工艺，且所述真空室包括形成于其底部中心区域上并使用于向上/向下移动所述基座的柱穿过其中的柱通孔、以及与所述柱通孔间隔开的真空抽吸端口；以及真空抽吸控制单元，其与所述真空抽吸端口相连接并控制所述真空室中的抽吸位置。

主权项

一种用于平板显示器的化学气相沉积装置，所述装置包括：基座，用于支撑基板；真空室，在所述真空室中对所述基板执行沉积工艺，且所述真空室包括：柱通孔，形成于所述真空室的底部中心区域上并使用于向上/向下移动所述基座的柱穿过其中；以及真空抽吸端口，与所述柱通孔间隔开；以及真空抽吸控制单元，其与所述真空抽吸端口相连接并控制所述真空室中的抽吸位置。