[发明专利]光学测量系统有效
| 申请号： | 201210281821.8 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103575662A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李国光;赵江艳 | 申请（专利权）人： | 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/00;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学测量系统，包括光源、光纤束、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第五聚光单元、第六聚光单元、第一偏振器、第二偏振器、第三偏振器及光谱计。本发明包含垂直入射和斜入射的两个光学测量装置，通过光纤束进行分光及合光，可以使两套光学测量装置共用一个光源和一个光谱计，简化了系统结构，并极大地降低了系统的成本结构简单，测量准确，集成度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种光学测量系统，其特征在于，包括：光源、光纤束、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第五聚光单元、第六聚光单元、第一偏振器、第二偏振器、第三偏振器及光谱计；所述光源发出的光经过所述光纤束分为两束，其中一束光依次通过所述第五聚光单元、第二偏振器、第二聚光单元后斜入射到样品表面；另一束光依次通过所述第四聚光单元、第一偏振器、第一聚光单元后垂直入射到样品表面；经过样品表面反射且依次经过第三聚光单元、第三偏振器及第六聚光单元的斜入射光，与从样品表面反射后返回且依次经过第一聚光单元、第一偏振器及第四聚光单元的垂直入射光，经所述光纤束传输后由同一端口输出至所述光谱计。
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