[发明专利]三维测量装置

摘要

提供能够有效地提高测量精度的三维测量装置。基板检查装置包括：对印刷基板照射条纹状的光图案的照射装置；对光图案进行拍摄的相机；以及基于拍摄的图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括发射光的光源、以及将该光转换成条纹状的光图案的液晶光栅(4b)。液晶光栅(4b)在一对玻璃基板(31、32)之间形成有液晶层，并包括配置在其中一个玻璃基板(31)上的公共电极(33)和并排设置在另一个玻璃基板(32)上的多个带状电极(34)。并且，将带状电极(34)分成6条为1组的组，各组的带状电极(34a)等彼此分别并联连接，所述并联连接的带状电极(34a)群等分别与同一个开关元件(36a～36f)连接，并由该开关元件(36a～36f)分别控制。

主权项

一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元包括发射预定的光的光源、以及将来自该光源的光转换成具有条纹状的光强分布的光图案的液晶光栅，并且所述照射单元能够至少对被测量物照射该光图案；摄像单元，所述摄像单元能够拍摄来自被照射所述光图案的所述被测量物的反射光；以及图像处理单元，所述图像处理单元基于通过所述摄像单元摄像的图像数据进行三维测量；其中，所述液晶光栅包括：彼此相对配置的一对透明基板；设置在所述两个透明基板之间的液晶层；设置在所述一对透明基板中的一者上的公共电极；以及设置在所述一对透明基板中的另一者上并且隔开预定间隔相互平行地排列的多个带状电极；其中，所述液晶光栅被构成为通过控制向所述公共电极与所述带状电极之间施加的电压来改变所述液晶层的透过率，将所述多个带状电极分成以n个带状电极为1组的多个带状电极组，其中n是2以上的自然数，并且将所述各组中的排列顺序为第i个的带状电极彼此并联连接，其中i是1≦i≦n的自然数，所述液晶光栅还包括n个开关元件，所述n个开关元件分别与所述并联连接的n个带状电极群连接，并控制向该带状电极群施加的电压，所述多个带状电极组被并联驱动。