[发明专利]一种超厚超硬涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210249221.3 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN102756514A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 马胜利;徐可为;李泽宇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B9/00;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超厚超硬涂层及其制备方法，包括沉积于基体表面的Ti底层、制备于Ti底层上的TiN过渡层以及制备于TiN过渡层上的TiAlSiCN涂层，该超厚超硬涂层的厚度≥20微米，制备时以柱型电弧Ti靶作为Ti源，以平面磁控溅射Si靶、Al靶和C靶作为相应的Si、Al和C的来源，采用Ar作为离化气体，采用N2作为反应气体，本发明显著的提高了基体对TiAlSiCN涂层的结合力，使制备于基体上的TiAlSiCN涂层的厚度显著提高；本发明在TiN涂层中加入Si、C、Al元素，形成五元成分的TiAlSiCN涂层材料，使涂层材料的硬度、耐磨性、减摩性、抗高温氧化以及抗腐蚀性能进一步提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超厚超硬 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超厚超硬涂层，其特征在于：包括沉积于基体表面的Ti底层、制备于Ti底层上的TiN过渡层以及制备于TiN过渡层上的TiAlSiCN涂层，该超厚超硬涂层的厚度≥20微米。
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