[发明专利]多模态数据的聚类有效

专利信息
申请号: 201210238629.0 申请日: 2012-07-11
公开(公告)号: CN102879407A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: C.S.库伊曼;S.R.M.施托克斯 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N23/00 分类号: G01N23/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 马永利;刘春元
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及多模态数据的聚类。对来自获取不同类型的信息的多个探测器的信息进行组合以比使用来自单个类型的探测器的单个类型信息可以确定的属性更高效地确定样本的一个或多个属性。在一些实施例中,同时从不同的探测器收集信息,这可以大大减少数据获取时间。在一些实施例中,例如,对来自于样本上不同的点的信息进行组合以创建根据第二探测器的如通过第一探测器确定的共同组成的区域的单个能谱,该样本上的不同点是基于与这些点相关的来自于一种类型探测器的信息和来自于第二类型的探测器的信息进行分组的。在一些实施例中,数据收集是自适应的,也就是说,在收集期间对数据进行分析以确定是否已经收集了用来在期望置信度的情况下确定期望属性的足够数据。
搜索关键词: 多模态 数据
【主权项】:
一种确定样本的属性的方法,包括:使用第一探测器探测响应于在所述样本的区上扫描的射束来自于所述样本的第一类型发射物;使用第二探测器探测响应于在所述样本的该区上扫描的射束来自于所述样本的第二类型发射物,该第二探测器测量能谱信息;使用第一类型发射物,把所述样本的被扫描区划分为多个区域,每个区域具有共同特性;其特征在于:对来自所述区域中的使用第一类型发射物确定的具有共同特性的至少一个区域中的多个点的第二类型发射物进行组合以产生所述区域内的物质的组合能谱。
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