[发明专利]引出电极系统及狭缝电极有效
| 申请号： | 201210208305.2 | 申请日： | 2012-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103094027A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 井内裕;谷井正博 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。 | ||
| 搜索关键词： | 引出 电极 系统 狭缝 | ||
【主权项】：
一种引出电极系统，其特征在于，作为离子源的引出电极系统，包括多个狭缝电极，所述狭缝电极包括：电极框体，具有开口部；以及多个电极棒，排列设置在所述开口部内，并且在构成沿从所述离子源发生的离子束的行进方向位于最上游的所述狭缝电极的所述电极棒中，在相邻的电极棒之间形成的狭缝状开口部的形状沿着所述离子束的行进方向呈大致锥台形。
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