[发明专利]一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法。本发明提出一种离子注入设备排气联锁延时系统及其方法，通过设置延时装置能够自动的在设备在可承受的排气系统压力范围内，有效的减少由于排气压力波动而引起设备真空系统非正常的停止工作，进而保证机台的连续正常工作，为当前机台内产品的运行提供良好的工艺环境，不仅提高设备的正常利用率，还可显著减少由于排气压力波动而停机所造成的对生产产品的质量影响，从而有效防止产品报废，提高产品的良率。

主权项

一种离子注入设备排气联锁延时系统，包括动力排气系统、联锁保护系统和真空系统，其特征在于，还包括：一延时触发装置；所述动力排气系统、联锁保护系统、延时触发装置依次进行通信连接，所述真空系统通过一判断装置与所述延时触发装置进行通信连接；其中，所述判断装置还与所述动力排气系统进行通信连接。