[发明专利]相变随机存取存储器件及其制造方法无效
申请号: | 201210185827.5 | 申请日: | 2012-06-07 |
公开(公告)号: | CN102842673A | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 李章旭 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;郭放 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种相变随机存取存储(PCRAM)器件及其制造方法。所述PCRAM器件包括:半导体衬底;结字线,所述结字线被形成在所述半导体衬底上;外延字线,所述外延字线被形成在所述结字线上;以及开关器件,所述开关器件被形成在所述外延字线上。 | ||
搜索关键词: | 相变 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种相变随机存取存储器件即PCRAM器件,包括:半导体衬底;结字线,所述结字线被形成在所述半导体衬底上;外延字线,所述外延字线被形成在所述结字线上;以及开关器件,所述开关器件被形成在所述外延字线上。
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