[发明专利]双材料悬臂梁应力匹配方法有效
| 申请号： | 201210177908.0 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103449356A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞文;焦斌斌;李志刚;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双材料悬臂梁的应力匹配方法，包括：在衬底上形成第一下层薄膜，具有第一应力和第一厚度；在第一下层上形成第二下层薄膜，具有第二应力和第二厚度，其中第一下层和第二下层为不同方法形成的同种材料；在第二下层上形成上层薄膜，具有第三应力，其中，调整三层薄膜厚度，使得第一下层、第二下层与上层达到力矩平衡即可实现应力匹配；通过光刻、刻蚀形成所需梁结构，腐蚀衬底，释放得到由第一下层、第二下层以及上层组成的双材料悬臂梁。通过两种薄膜淀积方式淀积双材料悬臂梁中的双层结构的下层薄膜，从而在下层薄膜中引入台阶式应力梯度，控制下层薄膜的厚度来实现双材料悬臂梁力矩平衡，进而低成本高效率地实现应力匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 悬臂梁 应力 匹配 方法 | ||
【主权项】：
一种双材料悬臂梁的应力匹配方法，包括：在衬底上形成第一下层薄膜，具有第一应力和第一厚度；在第一下层薄膜上形成第二下层薄膜，具有第二应力和第二厚度，其中第一下层薄膜和第二下层薄膜为不同方法形成的同种材料；在第二下层薄膜上形成上层薄膜，具有第三应力，其中，调整第一厚度和第二厚度以及上层薄膜的第三厚度，使得第一下层薄膜、第二下层薄膜与上层薄膜达到力矩平衡，即可实现应力匹配；通过光刻、刻蚀形成所需梁结构，腐蚀衬底，释放得到由第一下层薄膜、第二下层薄膜以及上层薄膜组成的双材料悬臂梁。
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