[发明专利]玻璃微粒堆叠体的制造装置

摘要

本发明提供一种玻璃微粒堆叠体的制造装置，其可以在抑制异物的附着及混入的同时，稳定且高效地制造高品质的玻璃微粒堆叠体。对于玻璃微粒堆叠体的制造装置（10），其向反应容器（11）内的标靶上堆叠通过喷管（13）的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，在反应容器（11）中，在配置喷管（13）的那一侧的侧面上设置净化空气导入口（39），在净化空气导入口（39）处设置有整流部（23），该整流部（23）是将多根至少反应容器（11）的内部侧为凸曲面的整流棒（24）隔着规定的间隙（G）排列而形成的。

主权项

一种玻璃微粒堆叠体的制造装置，其向反应容器内的标靶上堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，其特征在于，在所述反应容器上，在配置所述喷管的那一侧的侧面上设置净化空气导入口，在所述净化空气导入口处，设置有将多根至少所述反应容器的内部侧为凸曲面的棒材隔着规定的间隙排列而形成的整流部。