[发明专利]一种真空精密位移装置

摘要

本发明提供一种真空精密位移装置，包括：底法兰(1)；顶法兰(2)；连接二法兰的波纹管(7)；用于安装顶法兰(2)的位移台(3)，顶法兰(2)能够相对位移台(3)平动；用于驱动顶法兰(2)的运动机构，其包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)。第一运动装置(5)能够使顶法兰(2)相对位移台(3)平动，第二运动装置(6)能够使位移台(3)相对底法兰(1)纵向运动。其中，第二运动装置(6)连接底法兰(1)与位移台(3)并且至少有两组，它们以大致均匀间隔的方式设置在底法兰(1)上，在使位移台(3)运动的同时支撑位移台(3)。这种位移装置具有结构简单，占用面积小，成本低，力学性能较好的特点。

主权项

一种真空精密位移装置，包括：安装在真空腔上的底法兰(1)；顶法兰(2)；连接所述底法兰(1)与所述顶法兰(2)的波纹管(7)，所述波纹管(7)的轴线方向定义为纵向方向；用于安装所述顶法兰(2)的位移台(3)，所述顶法兰(2)能够相对所述位移台(3)平动；以及用于驱动所述顶法兰(2)运动的运动机构，所述运动机构包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)，所述第一运动装置(5)能够使所述顶法兰(2)相对所述位移台(3)平动，所述第二运动装置(6)能够使所述位移台(3)相对所述底法兰(1)发生纵向运动，其特征是，所述第二运动装置(6)连接所述底法兰(1)与所述位移台(3)，所述真空精密位移装置包括至少两组所述第二运动装置(6)，它们以大致均匀间隔的方式设置在所述底法兰(1)上，所述至少两组第二运动装置(6)在使所述位移台(3)运动的同时支撑所述位移台(3)。