[发明专利]双挡板真空闸阀装置

摘要

本发明公开一种双挡板真空闸阀装置，包括阀体、纵向驱动机构、两对滑动座、一对阀板、密封圈、铰链座、弹簧、弹簧座、连杆及一对真空腔室；所述铰链座及弹簧座上下依次地套接固定于所述纵向驱动机构的输出端上，所述弹簧一端与所述弹簧座抵触，另一端与所述阀板的下端抵触；所述连杆一端与所述铰链座铰接，另一端与所述阀板铰接；所述滑动座分别设置于所述开口的两侧，且开设有凹陷，所述阀板滑动地安装于所述滑动座中；所述纵向驱动机构推动所述阀板上升到顶部时推动所述连杆，使所述阀板水平移动，从而使所述密封圈对所述真空腔室密封。本发明具有能正反向密封，密封性能好的优点。

主权项

一种双挡板真空闸阀装置，适用于对太阳能基板的镀膜或封装生产，其特征在于：包括阀体、纵向驱动机构、两对滑动座、一对阀板、密封圈、铰链座、弹簧、弹簧座、连杆及一对真空腔室；所述纵向驱动机构安装于所述阀体的下端面且输出端密封地伸入所述阀体内，所述阀体的两内侧面分别开设有开口，所述开口分别与所述真空腔室连通；所述铰链座及弹簧座上下依次地套接固定于所述纵向驱动机构的输出端上，所述弹簧一端与所述弹簧座抵触，另一端与所述阀板的下端抵触；所述连杆一端与所述铰链座铰接，另一端与所述阀板铰接；所述滑动座分别设置于所述开口的两侧，且所述滑动座的上半段开设有凹陷，所述阀板的两侧可上下滑动地安装于所述滑动座中；所述阀板的外侧面安装有所述密封圈，其中一所述阀板还开设有两侧相贯通的通气孔，所述纵向驱动机构推动所述弹簧座进而推动所述阀板上升，且在所述阀板上升到顶部时推动所述连杆，使所述阀板水平移动并卡持于所述凹陷内，从而使所述密封圈对所述开口密封，此时所述通气孔与对应的所述开口连通。