[发明专利]低温泵系统及用于低温泵的再生方法有效
| 申请号： | 201210146309.2 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102777346A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 安东正道 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B41/06;F04B49/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种缓和多个低温泵的压力差对再生工艺的影响的低温泵系统及用于低温泵的再生方法。低温泵系统（100）具备共用粗抽泵（73）且分别包含粗抽阀（72）的多个低温泵（10）、及为了多个低温泵（10）的再生而控制各粗抽阀（72）的CP控制器（20），在封闭已开放的粗抽阀（72）和开放已封闭的其他粗抽阀（72）之间设定延迟时间。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 用于 再生 方法 | ||
【主权项】：
一种低温泵系统，其特征在于，具备：多个低温泵，共用粗抽泵且分别包含粗抽阀；及控制器，为了所述多个低温泵的再生而控制各粗抽阀，在封闭已开放的粗抽阀和开放已封闭的其他粗抽阀之间设定延迟时间。
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