[发明专利]一种具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置

摘要

本发明公开了具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置，包括两个硅片承载平台，两个进出板检测相机，一个丝网升降装置，一个丝网姿态调整机构，两个丝网基准点相机，一个刮墨装置，两套硅片装载装置，两套硅片卸载装置，两套缓冲运输线；两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上，可交替进入印刷工位实现刮墨操作，未在印刷工位的硅片承载平台可同步装载、卸载硅片；该印刷装置采用双硅片承载平台结构，可实现换片与印刷工序过程并行，提高生产效率，且该装置结构紧凑，设备占用面积小。

主权项

一种具有双平台的全自动视觉硅片印刷装置，其特征在于包括两个硅片承载平台，两个进出板检测相机，一个丝网升降装置，一个丝网姿态调整机构，两个丝网基准点相机，一个刮墨装置，两套硅片装载装置，两套硅片卸载装置，两套缓冲运输线；两个硅片承载平台安装在一个横向移动的基座上，交替进入印刷工位实现刮墨操作；进出板检测相机安装在硅片承载平台的换片工位上方，用于获取硅片的图像；丝网升降装置安装在印刷机的四个支撑柱上，用于使丝网贴近硅片和离开硅片，以便实现硅片印刷、脱模以及清洗网底；丝网姿态调整机构安装在印刷机的丝网升降装置上，用于使丝网实现XY平行移动和旋转定位；两个丝网基准点相机安装在丝网姿态调整机构的下方，且对称分布于在印刷工位的硅片承载平台的两侧，用来获取丝网底部两个基准点的图像；刮墨装置安装在丝网姿态调整机构的上方，通过刮刀的上下运动和前后运动把涂料压印到硅片上；两套硅片装载装置与未在印刷工位的硅片承载平台对齐，且对称分布在印刷机的两侧，能调整硅片的角度和横向偏移；硅片卸载装置与硅片装载装置对称分布在硅片承载平台两侧；两套缓冲运输线均与硅片装载装置和硅片卸载装置呈垂直布置，用于从上游接收需要印刷的硅片，或把印刷好的硅片传送到下游。