[发明专利]图像传感器

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种图像传感器。本发明中，感光区域表面的介质层周围，采用具有不同折射率的介质材料ABAB...交替叠层作为侧墙反射层，构建光通路，将光限制在相应的像素感光区域，避免其入射到相邻的像素感光区域，可以减少串扰，提高感光区域的有效感光效率。侧墙反射层通过选择适当的介质材料和周期实现对不同范围入射光的反射，这样可以更好地将对应波段的入射光限制在光通路中，更大程度上防止串扰的发生，并提高入射光的传输效率和吸收效率。层间介质层自上而下介电常数递增，即折射率递增，可以更好地起到聚光作用，减少入射到侧墙反射层的光，进一步提高了入射光的吸收效率。

主权项

一种图像传感器，其特征在于，包括多个像素区域，每个像素区域中有一感光器件，每个感光器件表面上方的周围包围有侧墙反射层，构成用于将入射光导入该感光器件的通孔结构，该侧墙反射层包括第一介质材料和第二介质材料交替形成的周期性叠层结构，其中第一介质材料和第二介质材料的介电常数不同。