[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法无效
申请号: | 201210132628.8 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN102778816A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法。此组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)。其中,该酚醛清漆树脂(A)含有18%-25%亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)。此组成物的经时安定性佳,并可制得高分辨率的图案。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】:
一种正型感光性树脂组成物,其特征在于其包含:一酚醛清漆树脂(A);一邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);一染料(C);以及一溶剂(D);其中,该酚醛清漆树脂(A)含有18%‑25%亚甲基键结于邻位‑邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A‑1)。
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