[发明专利]子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法有效
| 申请号： | 201210101164.4 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102620683A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法涉及光学检测领域，该方法包括如下步骤：设定干涉仪，使其参考球波前的曲率半径与待测非球面中心区域的最接近球面半径吻合；调整干涉仪与待测非球面的相对位置关系，使干涉仪标准球面波前对准非球面待测区域；通过模式搜索误差补偿方法，消除标准球面检测偏离量较大的待测非球面时产生的调整误差；通过子孔径拼接检测技术，实现全口径拼接检测，得到精确的面型结果。本发明利用模式搜索误差补偿方法可以很好的将由于拼接测量位置没有对准带来的调整误差从测量的子孔径相位数据中消除，从而很好地实现多个子孔径的拼接，精确的完成非球面全口径面形拼接检测。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 拼接 检测 球面 调整 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
子孔径拼接检测非球面调整误差补偿方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：设定干涉仪，使其参考球波前的曲率半径与待测非球面中心区域的最接近球面半径吻合；步骤二：调整干涉仪与待测非球面的相对位置关系，使干涉仪标准球面波前对准非球面待测区域；步骤三：通过模式搜索误差补偿方法，消除标准球面检测偏离量较大的待测非球面时产生的调整误差；步骤四：通过子孔径拼接检测技术，实现全口径拼接检测，得到精确的面型结果。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210101164.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
