[发明专利]一种压电薄膜元件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种压电薄膜元件，其包括一压电薄膜，该压电薄膜包括相对设置的第一表面及第二表面。一第一表面电极设置在所述第一表面，所述第一表面电极包括一第一感应区电极及一第一引出电极。一第二表面电极设置在所述第二表面，所述第二表面电极包括一第二感应区电极及一第二引出电极自所述第二感应区电极延伸而出。所述第一、第二引出电极的厚度小于等于20微米大于等于3微米，所述第一、第二感应区电极的厚度小于等于800纳米大于等于20纳米。本发明还涉及一种压电薄膜元件的制备方法。采用本发明的技术方案，压电薄膜元件的产品良率较高、成本较低。

主权项

一种压电薄膜元件，其包括：一压电薄膜，该压电薄膜包括相对设置的第一表面及第二表面；一第一表面电极设置在所述第一表面，所述第一表面电极包括一第一感应区电极及一第一引出电极自所述第一感应区电极延伸而出；一第二表面电极设置在所述第二表面，所述第二表面电极包括一第二感应区电极及一第二引出电极自所述第二感应区电极延伸而出；所述第一感应区电极与所述第二感应区电极相对压电薄膜对称设置，所述第一引出电极与所述第二引出电极在所述压电薄膜上的投影间隔设置；其特征在于，所述第一引出电极的厚度小于等于20微米大于等于3微米，所述第一感应区电极的厚度小于等于800纳米大于等于20纳米，所述第二引出电极的厚度小于等于20微米大于等于3微米，所述第二感应区电极的厚度小于等于800纳米大于等于20纳米。