[发明专利]立式分批式成膜装置

摘要

本发明提供一种立式分批式成膜装置，该立式分批式成膜装置具有：处理室，其用于一并对多个被处理体进行成膜；加热装置，其用于加热被处理体；排气机构，其用于对处理室的内部进行排气；收容容器，其用于收容处理室；气体供给机构，其用于向收容容器的内部供给处理所使用的气体；多个气体导入孔，其设于处理室的侧壁，处理所使用的气体经由多个气体导入孔以与多个被处理体的处理面平行的气流向处理室的内部供给，并且在处理室内未设定炉内温度梯度就一并对多个被处理体进行成膜。

主权项

一种立式分批式成膜装置，其用于一并对多个被处理体进行成膜，其特征在于，该立式分批式成膜装置具有：处理室，其用于以将多个被处理体沿着高度方向叠置的状态收容该多个被处理体，一并对上述多个被处理体进行成膜；加热装置，其用于对收容在上述处理室内的上述多个被处理体进行加热；排气机构，其用于对上述处理室的内部进行排气；收容容器，其用于收容上述处理室；气体供给机构，其用于向上述收容容器的内部供给处理所使用的气体；多个气体导入孔，其设于上述处理室的侧壁，用于使上述处理室与上述收容容器相连通，该立式分批式成膜装置将上述处理所使用的气体经由上述多个气体导入孔以与上述多个被处理体的处理面平行的气流向上述处理室的内部供给，并且在上述处理室内不设定炉内温度梯度就一并对上述多个被处理体进行成膜。