[发明专利]一种投影物镜光学系统有效
| 申请号： | 201210091295.9 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103364928A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 孙文凤 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/14;G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
一种投影物镜光学系统，从物面到像面依次包括：第一透镜组，其光焦度为正；第二透镜组，其光焦度为负；第三透镜组，其光焦度为正；第四透镜组，其光焦度为负；第五透镜组，其光焦度为正；以及光阑，位于第五透镜组之间；其特征在于，该投影物镜系统的有效焦距f、该物面至像面的距离L满足以下条件： |
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| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种投影物镜光学系统，从物面到像面依次包括：第一透镜组，其光焦度为正；第二透镜组，其光焦度为负；第三透镜组，其光焦度为正；第四透镜组，其光焦度为负；第五透镜组，其光焦度为正；以及光阑，位于第五透镜组之间；其特征在于，该投影物镜系统的有效焦距f、该物面至像面的距离L满足以下条件：![]()
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