[发明专利]具有双重功能数字显微全息测量装置和方法

摘要

本发明涉及一种具有双重功能数字显微全息测量装置和方法。本装置由1个激光器、1个光束准直扩束装置、1个三维载物台、1个CCD摄像机、1个显微物镜、1个中性密度渐变滤光片、2个180度反射装置、2个分光镜和6个发射镜组成。

主权项

一种具有双重功能数字显微全息测量装置，由1个激光器（1），1个光束准直扩束装置（2）， 1个三维载物台（9），1个CCD摄像机（12），1个显微物镜（10），1个中性密度渐变滤光片（14），2个180度反射装置（6,16），2个分光镜（4,11），和6个反射镜（3,5,7,8,13,15）组成，其特征在于激光器（1）的正上方是光束准直扩束装置（2），光束准直扩束装置正上方是第一反射镜（3），第一反射镜（3）的正右方是第一分光镜（4），第一分光镜（4）的正右方是第二180°反射装置（16）的上半部，正下方依次是第二反射镜（5）和第三反射镜（7）；第二180°反射装置（16）的下半部正左方是一个第六反射镜（15），第六反射镜（15）正下方是中性密度渐变滤光片（14）和第五反射镜（13）；第五反射镜（13）的正左方是第二分光镜（11），第二分光镜（11）的正上方是CCD（12），正下方依次是显微物镜(10)、载物台（9）、和第四反射镜（8）、正右方是第一180度反射装置（6）的下半部，第一180度反射装置（6）的上半部的正右方是第二反射镜（5）；①第二反射镜（5）转入光路，将装置调整成反射模式,用于测量反射型样本；②第二反射镜（5）转出光路，将装置调整成透射模式，用于检测透明的样本；透射式和反射式可以通过第二反射镜（5）的转入转出光路，自由切换。