[发明专利]太阳能电池的制备方法

摘要

一种太阳能电池的制备方法，包括：提供一硅基板，所述硅基板具有一第一表面以及与该第一表面相对设置的一第二表面；在所述硅基板的第二表面设置一图案化掩膜层；对所述硅基板进行刻蚀，形成多个三维纳米结构，所述三维纳米结构为条形凸起结构，所述条形凸起结构的横截面为弓形；去除所述图案化掩膜层；在所述三维纳米结构表面及相邻三维纳米结构之间的硅基板的表面形成一掺杂硅层；提供一上电极，并将所述上电极设置于所述掺杂硅层的至少部分表面；以及提供一背电极，将所述背电极设置于所述硅基板的第一表面。

主权项

一种太阳能电池的制备方法，其包括以下步骤：提供一硅基板，所述硅基板具有一第一表面以及与该第一表面相对设置的一第二表面；在所述硅基板的第二表面设置一图案化掩膜层，所述图案化掩膜层包括多个并排设置的挡墙，相邻的挡墙之间形成一沟槽，所述硅基板通过该沟槽暴露出来；对所述硅基板进行刻蚀，使每一挡墙对应的硅基板的第二表面形成一三维纳米结构，所述三维纳米结构为条形凸起结构，所述条形凸起结构的横截面为弓形；去除所述图案化掩膜层；在所述三维纳米结构表面及相邻三维纳米结构之间的硅基板的表面形成一掺杂硅层；提供一上电极，并将所述上电极设置于所述掺杂硅层的至少部分表面；以及提供一背电极，将所述背电极设置于所述硅基板的第一表面，使所述背电极与所述硅基板的第一表面欧姆接触。