[发明专利]图案化石墨烯制备方法无效
| 申请号： | 201210086899.4 | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103204495A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 宋健民;林逸樵;林弘正 | 申请（专利权）人： | 铼钻科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种图案化石墨烯制备方法，主要利用一微影蚀刻工艺得到一图案化石墨烯。先提供一基板，接着在该基板上形成一触媒层，然后，在该触媒层上形成一碳层，并加热该碳层至一合成温度，使该碳层转化为石墨烯，其中，可于形成该碳层前，对该触媒层进行该微影蚀刻工艺；或于加热前，对该碳层进行该微影蚀刻工艺；也可于加热后，对该石墨烯进行该微影蚀刻工艺。相较于一般使用的激光蚀刻工艺，该微影蚀刻工艺具备高生产速度、成本低廉及适合制作大面积图案化石墨烯等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 化石 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种图案化石墨烯制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基板；在所述基板上形成一触媒层；在所述触媒层上形成一碳层；对所述碳层进行一微影蚀刻工艺，使所述碳层形成一图案化碳层；以及加热所述图案化碳层至一合成温度，使所述图案化碳层形成一图案化石墨烯。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于铼钻科技股份有限公司，未经铼钻科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210086899.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：灯具单元以及车辆用灯具
- 下一篇：可变容量泵的运转状态切换装置
