[发明专利]一种基于调制激光的PSD信号单通道处理方法及处理电路

摘要

本发明是一种基于调制激光的PSD信号单通道处理方法及处理电路。首先通过调制激光产生调制光信号，利用激光三角法使光斑成像于PSD上，然后通过I/V转换电路将PSD两端输出的电流信号转换成电压信号，接着通过电子开关切换将两路信号用同一信号处理通道来进行后续信号处理，这样不仅使PSD两端信号得到了一致处理，还大大降低了成本。后续电路主要包括比例放大、高阶带通滤波、峰值检测和A/D转换器等电路。本发明对温漂和背景光有很好的抑制作用，可应用于在温差较大和背景光比较复杂的环境下进行精密微位移测量的系统中。

主权项

一种基于调制激光的PSD信号单通道处理方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：第一步从小型半导体激光器发射出调制光，调制光经过会聚透镜形成宽度小于1mm的光斑照射在被测物上，然后通过成像透镜汇聚被测物对光斑的漫反射光将光斑成像于PSD上；成像光斑使PSD两端输出强度随光斑位置变化而变化的微弱调制电流信号；第二步通过I/V转换电路使PSD两端输出的电流信号变为电压信号；第三步通过通道切换电路将PSD输出的两路信号用同一通道来做后续信号处理；第四步通过比例放大电路使较弱的PSD信号变为易于处理的较强的信号；第五步通过带通滤波器滤掉背景光、暗电流和电磁场产生的干扰信号；第六步通过峰值检测电路捕捉获取PSD两路信号的强度最大值；第七步由A/D转换器得到PSD输出的两路信号强度。