[发明专利]一种双面膜片微型气体富集器

摘要

本发明公开了一种双面膜片微型气体富集器，由上下两个硅片键合而形成一个微型气室，每个硅片上设置有一个或多个悬空膜片，悬空膜片对应位置的硅被完全去除而形成空腔，每个悬空膜片上制备有薄膜加热器，每个悬空膜片的内壁涂敷有吸附薄膜。本发明通过将富集器的双面都设计成悬空膜片的方法，提高了膜片上吸附薄膜的面积，在保留膜片型富集器热容小、加热速率快、功耗小等优点的基础上，增大了吸附薄膜的面积，提高了富集效率。

主权项

一种双面膜片微型气体富集器，其特征在于，具有两个硅片，每个硅片上设置有至少一个悬空膜片，每个悬空膜片上制备有薄膜加热器，两个硅片上下对准后键合形成至少一个微型气室，每个悬空膜片的内壁涂敷有吸附薄膜，在微型气室的侧壁开有气孔以形成多个微型气室之间的气流通道或整个富集器的进气口和出气口。