[发明专利]波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法有效
| 申请号： | 201210074732.6 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN102636333A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 曾爱军;朱玲琳;李凡月;袁乔;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法，该装置由准直激光器、圆起偏器、一维光栅、标准四分之一波片、第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、第三渥拉斯顿棱镜、第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜、第一双象限探测器、第二双象限探测器、第三双象限探测器、衰减器和信号处理系统组成，本发明能同时且实时地测量波片的相位延迟量和快轴方位角，测量范围大且测量结果不受初始光强波动、衍射效率差异和子光束电路常数差异的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 延迟 方位角 实时 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种波片相位延迟量和快轴方位角的实时测量装置，特征在于其构成是：沿准直激光器(1)输出的光束前进方向上，依次是圆起偏器(2)、一维光栅(4)，入射激光束经该一维光栅(4)后形成正一级级子光束、零级子光束和负一级级子光束，在所述的零级子光束方向依次是标准四分之一波片(5)、第二渥拉斯顿棱镜(6)、第二准直透镜(7)、衰减器(8)和第二双象限探测器(9)，沿所述的负一级子光束的前进方向依次是第一渥拉斯顿棱镜(10)、第一准直透镜(11)和第一双象限探测器(12)，沿所述的正一级级子光束的前进方向，依次是第三渥拉斯顿棱镜(13)、第三准直透镜(14)和第三双象限探测器(15)，所述的第一双象限探测器(12)、第二双象限探测器(9)和第三双象限探测器(15)的输出端接信号处理系统(16)，所述的标准四分之一波片(5)的快轴与水平方向成0°夹角；所述的第二渥拉斯顿棱镜的两个偏振轴都分别与水平方向成45°和135°夹角；在所述的圆起偏器(2)和一维光栅(4)之间设有待测波片插口。
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