[发明专利]旋转谐振式三维电场传感器有效
| 申请号： | 201210071769.3 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN103308782A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;王宇;方东明;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转谐振式三维电场传感器。该传感器包括：衬底；Z方向电场测量单元，位于传感器的中心位置，用于测量电场强度矢量的Z方向分量，包括屏蔽电极和感应电极；X方向电场测量单元和Y方向测量单元，位于衬底上Z方向电场测量单元的外围，其对称轴相互成90°设置，分别用于测量电场强度矢量的X方向和Y方向分量，均包括屏蔽电极和感应电极；至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元和Y方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元的屏蔽电极。本发明旋转谐振式三维电场传感器能够同时测量电场矢量的三个分量大小。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 谐振 三维 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种旋转谐振式三维电场传感器，包括：衬底；Z方向电场测量单元，位于传感器的中心位置，用于测量电场强度矢量的Z方向分量，包括：屏蔽电极和感应电极，其中：感应电极，固定于衬底上；屏蔽电极，悬空设置，可相对于感应电极做旋转谐振运动；X方向电场测量单元和Y方向测量单元，位于衬底上Z方向电场测量单元的外围，其对称轴相互成90°设置，分别用于测量电场强度矢量的X方向和Y方向分量，均包括：屏蔽电极和感应电极，其中：感应电极，固定于衬底上；屏蔽电极，其一端与所述Z方向电场测量单元的屏蔽电极相连接，可相对于感应电极做振动；X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元、Z方向电场测量单元中至少其一的屏蔽电极通过梁结构与外围的固定于衬底的锚点相连接；至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元和Y方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动被传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元的屏蔽电极。
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