[发明专利]一种光学成像位置检测方法及其装置无效
申请号: | 201210066302.X | 申请日: | 2012-03-14 |
公开(公告)号: | CN103307972A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 李兴光;梁汉斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市东方宇之光电子科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 深圳冠华专利事务所(普通合伙) 44267 | 代理人: | 诸兰芬 |
地址: | 518054 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种光学成像位置检测方法及其装置,其包括主镜头、固定平台和滚筒,镜头上有辅助光路组件,辅助光路组件发出的辅助测量光束与滚筒焦点切平面平行,并聚焦在成像光束的焦点上;平台上有光电池,接收辅助光路组件发出的辅助测量光束的光能量,光电池的尺寸满足焦距伺服的动态范围;光电池连接有偏置电路。本发明由于采用聚焦测量光束直接探测滚筒像面的位置,因此具有极高的探测灵敏度。实验结果表明,在高速动态跟踪状态下,焦距误差为亚μm级,完全可以满足直接制版机对焦距的跟踪精度要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 成像 位置 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
一种光学成像位置检测方法,其特征在于:该检测方法采用一辅助测量激光束,所述辅助测量激光束与成像激光具有不同的波长,并且两者能量相差极大;所述辅助测量激光束与滚筒焦点切平面平行,并聚焦在成像光束的焦点上;所述辅助测量激光束对应位置处有光电池,所述光电池连接有偏置电路,在镜头随动平衡状态所述光电池应只接收到所述辅助测量激光束的部分能量,这个值Ip由所述偏置电路调整转换;偏置电流为Ib,所述辅助测量激光束转换电流为Ip,若Ip=Ib,焦距伺服处于动态平衡状态,主焦距是正确的;若Ip>Ib,伺服电路将通过马达推动镜头2左移随动;若Ip<Ib,伺服电路将通过马达推动镜头2右移随动。
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