[发明专利]3.65微米至5微米宽带红外滤光片及其制作方法有效
| 申请号： | 201210063890.1 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102590917A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 吕晶 | 申请（专利权）人： | 杭州麦乐克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/10;B32B9/04 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种3.65微米至5微米宽带红外滤光片及其制作方法，其特征是：采用尺寸为Φ18×1.0mm的单晶锗Ge作基板1，其表面光圈N≤5，局部光圈ΔN≤0.5，平行度θ≤1’，表面光洁度优于60/40；镀膜材料选择一氧化硅SiO和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；第一面膜系干涉薄膜2设计采用：Sub|1.33(.5HL.5H)53.39(.5LH.5L)5|Air；第二面膜系干涉薄膜3设计采用：Sub|0.92(.5HL.5H)3 1.1(.5HL.5H)4|Air；本发明提供的一种3.65微米至5微米宽带红外滤光片，双侧陡度＜3％即从透过率的5％到80％的过渡区域小于200nm，高透区域透过率≥90％、截止区域内截止深度≤0.1％，在热像仪波段3.7～4.9μm范围内透过率高达92％以上，获得优异的信噪比，满足高性能热像仪的灵敏度和精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 3.65 微米 宽带 红外 滤光 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种3.65微米至5微米宽带红外滤光片，其特征是：(1)采用尺寸为Φ18×1.0mm的单晶锗Ge作基板，其表面光圈N≤5，局部光圈ΔN≤0.5，平行度θ≤1’，表面光洁度优于60/40；(2)镀膜材料选择一氧化硅SiO和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)第一面膜系干涉薄膜设计采用：Sub|1.33(.5HL.5H)5 3.39(.5LH.5L)5|Air第二面膜系干涉薄膜设计采用：Sub|0.92(.5HL.5H)3 1.1(.5HL.5H)4|Air膜系中符合含义分别为：Sub为基板、Air为空气、H为λc/4单晶锗膜层、L为λc/4一氧化硅膜层、λc＝2μm、结构中数字为膜层的厚度系数、结构中的指数是膜堆镀膜的周期数。
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