[发明专利]表面形貌测量装置

摘要

一种表面形貌测量装置，其包括：具有能够摆动的测量臂、设置于测量臂的末端的一对触针和被构造成检测测量臂的摆动量的检测单元的触针位移检测器；被构造成在其上载置被测量物体的台架；和被构造成引起检测器和台架之间的相对运动的相对运动机构。该装置包括：被构造成在测量臂在一个摆动方向上被施力的姿态和测量臂在另一个摆动方向上被施力的姿态之间转换测量臂的姿态的姿态转换机构；和被构造成当通过姿态转换机构转换测量臂的姿态时，将测量臂的姿态转换的转换速度控制为预定的速度的速度控制机构。

主权项

一种表面形貌测量装置，其用于基于测量臂的摆动量测量被测量物体的表面形貌，所述表面形貌测量装置包括：检测器，所述检测器具有以能够以转动轴为支撑点地摆动的方式被支撑的测量臂和被构造成检测所述测量臂的摆动量的检测单元；姿态转换机构，所述姿态转换机构被构造成使所述测量臂的姿态在所述测量臂在一个摆动方向上被施力的姿态和所述测量臂在另一个摆动方向上被施力的姿态之间转换；和速度控制机构，所述速度控制机构被构造成：当通过所述姿态转换机构使所述测量臂转换姿态时，将所述测量臂的姿态转换的转换速度控制为预定的速度。