[发明专利]基于光强探测的高灵敏度传感系统无效
申请号: | 201210052676.6 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102636200A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 张晓光;吴远大;王玥;张家顺;安俊明;王红杰;李建光;胡雄伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01D5/32 | 分类号: | G01D5/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于光强探测的高灵敏度传感系统,包括:一光源;一第一3dB光分束器,其输入端与光源连接,用于光的分束;一第一光功率计,其输入端与第一3dB光分束器的第一输出端连接;一传感芯片,其输入端与第一3dB光分束器的第二输出端连接;一第二光功率计,其输入端与传感芯片的输出端连接;一处理器,其输入端与第一光功率计和第二光功率计的输出端连接,用于对数据的处理、分析。具有降低了光传感系统的成本、灵敏度很高、探测极限小和降低了工艺要求的优点。 | ||
搜索关键词: | 基于 探测 灵敏度 传感 系统 | ||
【主权项】:
一种基于光强探测的高灵敏度传感系统,包括:一光源;一第一3dB光分束器,其输入端与光源连接,用于光的分束;一第一光功率计,其输入端与第一3dB光分束器的第一输出端连接;一传感芯片,其输入端与第一3dB光分束器的第二输出端连接;一第二光功率计,其输入端与传感芯片的输出端连接;一处理器,其输入端与第一光功率计和第二光功率计的输出端连接,用于对数据的处理、分析。
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