[发明专利]碳纳米管微尖结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201210042273.3 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN103288033A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳纳米管微尖结构的制备方法，其包括：提供一碳纳米管膜结构及一绝缘基底，该绝缘基底具有一表面，该表面具有至少一带状凹部；将该碳纳米管膜结构覆盖于该绝缘基底的表面，并使部分该碳纳米管膜结构覆盖于所述带状凹部，并在该带状凹部处悬空设置；激光刻蚀该碳纳米管膜结构的悬空设置的部分，在该碳纳米管膜结构上形成一第一镂空图案，并形成与该第一镂空图案对应的图案化碳纳米管膜结构，该图案化碳纳米管膜结构包括两个条形臂，该两个条形臂在端部连接形成一尖端，该尖端在该带状凹部处悬空设置。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 管微尖 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种碳纳米管微尖结构的制备方法，其包括：提供一碳纳米管膜结构及一绝缘基底，该绝缘基底具有一表面，该表面具有至少一带状凹部；将该碳纳米管膜结构覆盖于该绝缘基底的表面，并使部分该碳纳米管膜结构覆盖于所述带状凹部，并在该带状凹部处悬空设置；激光刻蚀该碳纳米管膜结构的悬空设置的部分，在该碳纳米管膜结构上形成一第一镂空图案，并形成与该第一镂空图案对应的图案化碳纳米管膜结构，该图案化碳纳米管膜结构包括两个条形臂，该两个条形臂在端部连接形成一尖端，该尖端在该带状凹部处悬空设置。
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