[发明专利]一种多层非晶透明导电薄膜无效
| 申请号： | 201210039235.2 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102582149A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 吕建国;吴萍;张杰;叶志镇;张焱 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的多层非晶透明导电薄膜，包括衬底，在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。采用脉冲激光沉积法或是磁控溅射法制备。本发明的多层非晶透明导电薄膜具有很低的电阻率，同时保持较高的可见光透过率，光电综合性能优异，而且表面粗糙度低，易于大面积均匀制备和工艺刻蚀，可应用于显示器件、发光器件、太阳能电池等领域，特别是柔性器件领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 透明 导电 薄膜 | ||
【主权项】：
一种多层非晶透明导电薄膜，其特征在于包括衬底（1），在衬底上交替沉积有n层非晶氧化物层和导电改性层，n≥2，其中奇数层为非晶氧化物层，或奇数层为导电改性层。
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