[发明专利]一种液膜动态补偿装置

摘要

本发明公开了一种液膜动态补偿装置。液膜动态补偿装置是在透镜组和基底之间设置的装置，通过在注液腔外围设置自适应气体密封带，并在回收排孔外围设置隔离带、气体释放腔和回收端密封带，有助于液体动态更新下流场边界的长效稳定。自适应气体密封带基于流场压力分布特点，在边界施加促使液体向中心聚拢非均匀能量，可避免流场低压处因密封能量过大引起的冲击，以及流场高压处因密封能量不足引发的泄漏；回收孔外围的相应结构则在获得可靠密封的同时抑制了回收气液两相流，增强了系统的稳定性。本装置可实现液体的流动更新，这将有助于提高观测区域液体的洁净度，增强观测成像可靠性并减低对环境洁净度的要求。

主权项

一种液膜动态补偿装置，在透镜组（2）和基底（4）之间设置的液膜动态补偿装置（3），其特征在于：包括一中心开有柱状观测腔（6）的盘体，所述盘体的一侧依次开有注液腔（7）和自适应气体密封带（9A），所述注液腔（7）为弧度取30～150°环形圆柱腔体；所述自适应气体密封带（9A）为1～3组弧度取60～180°的环形圆柱排孔阵列；所述盘体的另一侧依次开有回收排孔（8A）、隔离带（10）、气体释放腔（8B）和回收端密封带（9B），所述回收排孔（8A）为弧度取30～150°的环形排孔阵列；所述隔离带（10）为弧度取30～150°的环形凸台；所述气体释放腔（8B）为弧度取30～150°的环形圆柱腔体；所述回收端密封带（9B）为1~6组弧度取60～180°的环形圆柱排孔阵列。