[发明专利]用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统

摘要

本发明一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，涉及一种应用于LED晶圆切割紫外激光精密加工设备的光学传输设计方法，属于激光精密加工领域。本发明的目的在于提出一个新的紫外激光传输设计方案，减少紫外激光器衍射光束对LED芯片的辐射强度，提高LED芯片的寿命，并实现对激光器功率的方便调节和实时监控，对于整体提高晶圆切割设备的加工性能，具有重要的实际意义。

主权项

一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，由紫外激光器，λ/2波片，偏振器，接收斗，锯齿光阑，45度分光镜，激光功率计，45度反射镜，聚焦镜组，加工平台等组成；λ/2波片，偏振器和接收斗组成的激光功率调节模块，锯齿光阑用于抑制径向激光衍射，45度分光镜和激光功率计组成实时功率探测模块；紫外激光器输出的激光顺序经过激光功率调节模块、锯齿光阑、实时功率探测模块，并通过45度反射镜反射，由聚焦镜组聚焦于加工平台进行加工，其特征在于：该传输系统包含可抑制径向激光衍射的锯齿光阑，和可实时调节紫外激光功率的激光功率调节模块。