[发明专利]一种投影光学系统有效
| 申请号： | 201210027757.0 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN102566011A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 白瑜;邢廷文;吕保斌;范真节;邓超;张海波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G02B13/22;G02B3/00;G02B7/02;G02B27/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李新华;成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。本发明的投影光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，其特征在于，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210027757.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能集成微重力生理效应模拟床
- 下一篇：一种基于组合棱镜的相位差波前传感器
