[发明专利]一种反射型投影光学系统无效
| 申请号： | 201210025962.3 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102540435A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 杨雄;邢廷文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 顾炜;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反射型投影光学系统，其对极紫外光有良好的反射特性，该投影光学系统包括六个反射镜，能够成实像，并在一定视场范围内能很好地消除像差。依物面发出光线所经过的反射镜顺序，该6个反射镜依次是凹、凸、凹、凹、凸、凹面形。该投影光学系统包括两个子系统，由第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜组成第一光学子系统，可以形成物面的中间像。由第五反射镜、第六反射镜组成第二光学子系统，可以将中间像成像于像面。本发明实现反射镜小型化、减小各反射表面的光线入射角，提高其加工性能，大幅消减制造的时间和费用，且本发明中的投影光学系统具有对称分布的视场畸变，可有效消除动态畸变。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种反射型投影光学系统，其包含6片反射镜，按照光束入射顺序依次为M1反射镜、M2反射镜、M3反射镜、M4反射镜、M5反射镜、M6反射镜；其特征在于，由M1反射镜、M2反射镜、M3反射镜、M4反射镜组成第一光学子系统，可以形成第0面的中间像。由M5反射镜、M6反射镜组成第二光学子系统，可以将中间像成像于第7面；光阑设置在M2反射镜上，M2、M5反射镜是凸面反射镜，M1、M3、M4、M6都是凹面反射镜；从M3反射镜出射的光束，其下边缘光线与光轴接近平行。
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