[发明专利]一种软X射线双频光栅剪切干涉系统有效
| 申请号： | 201210022269.0 | 申请日： | 2012-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN102590845A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘正坤;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/00 | 分类号： | G01T1/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 许玉明;成金玉 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其采用了一种双频光栅作为软X射线剪切干涉元件，利用掠入射条件下，该光栅的两组-1级衍射光束自剪切干涉，对穿过等离子体的X射线激光的波前检测。该剪切干涉仪中采用两个多层膜球面镜的成像系统，能够得到清晰的等离子体边界。本发明将剪切干涉系统成功应用于软X射线波段，利用剪切干涉系统共光程的特点，解决了马赫-曾德尔干涉仪测试系统中等光程的调节困难的问题，为利用剪切法诊断等离子体电子密度提供了关键技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 双频 光栅 剪切 干涉 系统 | ||
【主权项】：
一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：包括第一块球面成像镜(3)、软X射线双频光栅(4)、第二块球面成像镜(5)，X射线CCD相机(6)和计算机处理系统(7)，其位置关系如下：第一块球面成像镜(3)与被测靶面(2)的距离等于第一块球面成像镜(3)的焦距，入射光与第一块球面成像镜(3)的角度为1.5～3.5°，入射光经过被测等离子体(1)；所述的软X射线双频光栅(4)与第一块球面成像镜(3)之间的距离不限制，探针X射线在光栅表面的入射角度为82～84°之间；入射光经过软X射线双频光栅(4)衍射后，其‑1级光有两束，其夹角由软X射线双频光栅(4)的频率、入射光的角度决定；两组‑1级衍射光被第二块球面成像镜(5)反射后，入射到X射线CCD相机(6)上，第二块球面成像镜(5)与X射线CCD相机(6)之间的距离等于第二块球面成像镜(5)的焦距；X射线CCD相机(6)的输出端与所述计算机处理系统(7)的输入端相连。
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