[发明专利]一种软X射线双频光栅剪切干涉系统有效
| 申请号： | 201210022269.0 | 申请日： | 2012-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN102590845A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘正坤;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/00 | 分类号： | G01T1/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 许玉明;成金玉 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射线 双频 光栅 剪切 干涉 系统 | ||
1.一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：包括第一块球面成像镜(3)、软X射线双频光栅(4)、第二块球面成像镜(5)，X射线CCD相机(6)和计算机处理系统(7)，其位置关系如下：
第一块球面成像镜(3)与被测靶面(2)的距离等于第一块球面成像镜(3)的焦距，入射光与第一块球面成像镜(3)的角度为1.5～3.5°，入射光经过被测等离子体(1)；所述的软X射线双频光栅(4)与第一块球面成像镜(3)之间的距离不限制，探针X射线在光栅表面的入射角度为82～84°之间；入射光经过软X射线双频光栅(4)衍射后，其-1级光有两束，其夹角由软X射线双频光栅(4)的频率、入射光的角度决定；两组-1级衍射光被第二块球面成像镜(5)反射后，入射到X射线CCD相机(6)上，第二块球面成像镜(5)与X射线CCD相机(6)之间的距离等于第二块球面成像镜(5)的焦距；X射线CCD相机(6)的输出端与所述计算机处理系统(7)的输入端相连。
2.根据权利要求1所述的一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：所述的第一块球面成像镜(3)以及第二块球面成像镜(5)为多层介质膜反射镜。
3.根据权利要求1所述的一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：被测等离子体(1)位于第一块球面成像镜(3)的焦平面上，X射线CCD相机(6)位于第二块球面成像镜(5)的焦平面上。
4.根据权利要求1所述的一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：剪切干涉元件是软X射线双频光栅(4)，该光栅在软X射线波段有高于10％的衍射效率。
5.根据权利要求1所述的一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其特征在于：剪切干涉元件是软X射线双频光栅(4)，其能产生两束夹角在0.0004～0.0025°范围内的剪切干涉光束。
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