[发明专利]用于多段稀释机构的临界节流孔型定流量器的特性测定方法

摘要

本发明为一种临界节流孔型定流量器(CFO1)的特性测定方法，其适用于稀释机构(3)，该稀释机构由串联的稀释单元(31)(32)构成，该特性测定方法尽可能地将用于多段稀释机构的临界节流孔型定流量器的特性测定时的状态接近于使用时的状态，以减少稀释率的误差，对于导出一个稀释单元(31)的剩余的气体的导出流路(E1)，使得稀释单元(31)的稀释用气体和其他稀释单元(32)的稀释用气体的合计流量等于所述一定流量，且使得来自稀释单元(31)的稀释用气体的流量与使用时流量相等，并基于此时的设于该导出流路(E1)的临界节流孔型定流量器(CFO1)的至少上游侧的压力，测定该临界节流孔型定流量器(CFO1)的流量特性。

主权项

一种定流量器特性测定方法，其特征在于，其作为临界节流孔型定流量器的特性测定方法，适用于以下构成的稀释机构：所述稀释机构串联连接有多个稀释单元，所述稀释单元通过在连接导入输入气体的输入端和输出端的主流路的途中设有合流点、并将设有流量控制单元的稀释用气体流路连接于该合流点，将达到预先确定的稀释率的规定流量的稀释用气体导入所述主流路，而且，所述稀释单元的一部分或全部设有位于主流路途中的分歧点，该分歧点连接设有临界节流孔型定流量器的导出流路，以将一定流量的气体从所述主流路导出，对于一个稀释单元的导出流路，使得来自该稀释单元中稀释用气体流路的稀释用气体和来自一个以上的其他的稀释单元中的来自稀释用气体流路的稀释用气体的合计流量与所述一定流量相等，且使得来自该稀释单元的稀释用气体的流量与所述规定流量相等，基于此时的该导出流路中的临界节流孔型定流量器的至少上游侧压力，测定该临界节流孔型定流量器的流量特性。