[发明专利]压阻式Z轴加速度感测器有效
| 申请号： | 201210005765.5 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103048489A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 黄志伟;张介斌;陈家豪;赵传珍;庄英宗;王是琦;王永和 | 申请（专利权）人： | 立积电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压阻式Z轴加速度感测器，其包括：一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻式 加速度 感测器 | ||
【主权项】：
一种压阻式Z轴加速度感测器，包括：基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。
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