[发明专利]一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法有效
| 申请号： | 201210001926.3 | 申请日： | 2012-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN103194715A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王文东;黄春;闫坤坤;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C4/12 | 分类号： | C23C4/12;C23C4/10 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种大气等离子体喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法，属于等离子喷涂技术领域。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，将Al2O3粉末和Y2O3粉末均匀混合，造粒得到Y3Al5O12粉末；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过大气等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出非晶Y3Al5O12涂层。本发明使用大气等离子喷涂方法来制备非晶Y3Al5O12耐侵蚀陶瓷涂层，通过调节喷涂参数，获取优化的工艺条件进行喷涂，从而得到性能良好的非晶Y3Al5O12涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大气 等离子 喷涂 技术 制备 sub al 12 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种大气等离子体喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，将Al2O3粉末和Y2O3粉末均匀混合，造粒得到Y3Al5O12粉末，并将所述Y3Al5O12粉末送入大气等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过所述大气等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出非晶Y3Al5O12涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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C23C4-18 .后处理
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