[实用新型]氦气纯度分析仪有效
申请号: | 201120484842.0 | 申请日: | 2011-11-30 |
公开(公告)号: | CN202393773U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 王茂祥 | 申请(专利权)人: | 常州爱特科技有限公司 |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00 |
代理公司: | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人: | 沈毅 |
地址: | 213000 江苏省常州市钟楼经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种分析仪,尤其是一种氦气纯度分析仪。该分析仪包括进气口、流量调节阀、纯度传感器和出气口,进气管路的出口端设有进气口,中间端设有流量调节阀,末端设有出气口,纯度传感器置于出气口上方,纯度传感器为热导池检测器。所述纯度传感器为热导池检测器。所述流量调节阀与纯度传感器之间设有流量感应器,本实用新型可以利用带温度补偿功能的微型热导池氦气检测仪表来实现更好的稳定性、重现性和精度。 | ||
搜索关键词: | 氦气 纯度 分析 | ||
【主权项】:
一种氦气纯度分析仪,包括进气口(1)、流量调节阀(2)、纯度传感器(3)和出气口(4),进气管路(6)的出口端设有进气口(1),中间端设有流量调节阀(2),末端设有出气口(4),纯度传感器(3)置于出气口(4)上方,其特征是,所述纯度传感器(3)为热导池检测器。
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