[实用新型]匀气板

摘要

本实用新型公开了一种匀气板，包括相对的进气面和出气面，所述匀气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔均设于进气面与出气面之间，其中气孔一端连接进气面，另一端连接出气面，所述气孔包括相连的第一分部和第二分部，所述第一分部连接进气面，第一分部为等截面直孔，所述第二分部连接出气面，第二分部为锥孔，锥孔截面朝出气面方向增大。本实用新型涉及的匀气板的气孔经特殊锥孔设计，气体在经过气孔第二分部时得到发散，有助于进入电极盒内腔，能够使并联多个电极复合式设计的电极盒，取得良好的电极内和电极间膜厚均匀性。

主权项

一种匀气板，包括相对的进气面(13)和出气面(14)，所述匀气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔(11)均设于进气面(13)与出气面(14)之间，其中气孔(11)一端连接进气面(13)，另一端连接出气面(14)，其特征是：所述气孔(11)包括相连的第一分部(111)和第二分部(112)，所述第一分部(111)连接进气面(13)，第一分部(111)为等截面直孔，所述第二分部(112)连接出气面(14)，第二分部(112)为锥孔，锥孔截面朝出气面(14)方向增大。