[实用新型]晶元翻转治具有效

专利信息
申请号: 201120182413.8 申请日: 2011-06-01
公开(公告)号: CN202094106U 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 杨军 申请(专利权)人: 京隆科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 梁爱荣
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型是有关于一种晶元翻转治具,包括一治具本体、两晶元载盘及一弹性抵压机构。治具本体于环侧面界定出一内凹槽,在内凹槽槽底相反两端分别形成有一第一对位弯部与一第二对位弯部,两对位弯部并沿一厚度方向相间隔。两晶元载盘有相对应的晶元承载格,且每一晶元载盘于插入边形成有一载盘对位部。当两晶元载盘对合地插入内凹槽,两晶元载盘被弹性抵压机构抵压,且两载盘对位部抵顶在对应的对位弯部,使得两晶元载盘不露出内凹槽。由此,操作人员可轻易发现操作错误而立即修正。
搜索关键词: 翻转
【主权项】:
一种晶元翻转治具,其特征在于,包括:一治具本体,包括有一内凹槽、相对的一顶面与一底面、连接该顶面与该底面的一环侧面,该内凹槽凹设于该环侧面,该内凹槽并于槽底相反两端分别形成有一第一对位弯部与一第二对位弯部,且该第一对位弯部与该第二对位弯部是沿一厚度方向相间隔,该第一对位弯部较该第二对位弯部更靠近该治具本体的底面;一第一晶元载盘,包括有多个第一晶元承载格与一第一插入边,该第一插入边的一端形成有一第一载盘对位部为几何上配合于该第一对位弯部;一第二晶元载盘,包括有多个第二晶元承载格与一第二插入边,该多个第二晶元承载格对应于该多个第一晶元承载格,该第二插入边的一端形成有一第二载盘对位部是几何上配合于该第二对位弯部;以及一弹性抵压机构,设置于该内凹槽中;其中,该第一晶元载盘与该第二晶元载盘选择式对合地插入该内凹槽而被该弹性抵压机构沿该厚度方向抵压,且该第一载盘对位部抵顶于该第一对位弯部,该第二载盘对位部抵顶于该第二对位弯部,该第一晶元载盘与该第二晶元载盘不露出该内凹槽。
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