[发明专利]具有多级基板投入门的基板质量检测装置

摘要

本发明公开了一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置。本发明以多级结构构成检测框架的基板投入门，并且在以多级结构形成的各个门之间，沿着水平排列作为检测单元的相机和透镜，以使相机和透镜沿着门的宽度方向平卧，从而通过输送机器人向多级基板投入门快速地输送多个基板，以使针对多个基板的质量检测同时进行等，据此缩短基板质量检测工艺的时间，尤其通过有效地布置检测部件，从而不会使具有多级基板投入门的检测框架的布局相比现有结构扩大，据此能够提高设置空间的有效性。

主权项

一种具有多级基板投入门的基板质量检测装置，其特征在于，构成形成有用于投入由输送机器人输送的基板的基板投入门的检测框架，所述检测框架的所述基板投入门间隔预定距离构成为多级结构，以形成多层的内部空间，在由多层构成的内部空间，在所述基板投入门的下部左右侧分别布置照明灯，在由多层构成的所述内部空间，在所述基板投入门的上部左右侧，分别在与所述照明灯相同竖直线的位置以预定倾斜角度设置反射镜，以提供间接照明和呈现经过所述基板投入门的基板的两侧侧面部件的间接图像，在由多层构成的所述内部空间，在所述基板投入门的上部沿着所述基板投入门的宽度方向并排地水平排列透镜和相机，以通过所述反射镜提供的间接照明来拍摄照射在所述反射镜上的基板的两侧侧面部分的间接图像。