[发明专利]非晶硅栅极驱动线路的形成方法及液晶显示器形成方法有效
| 申请号： | 201110457681.0 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103185998A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 柴慧平;陈浩;马骏 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1343;G02F1/1368;G02F1/133;G02F1/1333;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种非晶硅栅极驱动线路的形成方法及液晶显示器形成方法，非晶硅栅极驱动线路的形成方法包括：提供基板，所述基板包括第一区域和第二区域，第一区域上形成有第一金属线，第二区域上形成有第二金属线，第一金属线用于输入高电平信号，第二金属线用于输入低电平信号；形成覆盖所述第一金属线、第二金属线和基板表面的绝缘层；在第一金属线的过孔内和绝缘层表面形成氧化性导电材料层；在第一区域的氧化性导电材料层表面形成第一导电层，第二区域的第二金属线的过孔内和绝缘层表面形成第二导电层；形成覆盖所述第一导电层和第二导电层的钝化层。本发明实施例的方法，保证了过孔(接触点)的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 栅极 驱动 线路 形成 方法 液晶显示器 | ||
【主权项】：
一种非晶硅栅极驱动线路的形成方法，其特征在于，包括：提供基板，所述基板包括第一区域和第二区域，第一区域上形成有第一金属线，第二区域上形成有第二金属线，第一金属线用于输入高电平信号，第二金属线用于输入低电平信号；形成覆盖所述第一金属线、第二金属线和基板表面的绝缘层，所述绝缘层中分别形成有暴露第一金属线、第二金属线表面的过孔；在第一金属线上的过孔内和绝缘层表面形成氧化性导电材料层，氧化性导电材料层与第一金属线相对应；在第一区域的氧化性导电材料层表面形成第一导电层，第二区域的第二金属线的过孔内和绝缘层表面形成第二导电层，第二导电层与第二金属线相对应；形成覆盖所述第一导电层和第二导电层的钝化层。
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