[发明专利]一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法

摘要

一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法，涉及精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法，它解决现有测量光学自由曲面的方法存在检测范围小、测量数度低、检测周期长，并且测量点是离散的、缺乏连续性，同时测量装置结构复杂、价格昂贵的问题，首先进行计算全息图的制造，根据被检平面基自由曲面的相关数据和离轴抛物镜的口径、焦距、离轴量等数据在玻璃基底上制作计算全息图；再将数字激光干涉仪、计算全息图和离轴抛物镜安置在预设位置，使得数字激光干涉仪发出的理想球面波通过计算全息图后形成的光经过离轴抛物镜反射后形成的波前与理想被检自由曲面波前一致；最后将被检平面基自由曲面安置在预设位置。

主权项

一种精确测量大口径光学平面基自由曲面面形精度的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、根据被检测平面基自由曲面(4)的面形数据与口径和离轴抛物镜(3)的口径、焦距和离轴量数据采用激光直写技术在玻璃基底上制作计算全息图；步骤二、调整激光干涉仪(1)与离轴抛物镜(3)的位置，使激光干涉仪(1)发出球面波焦点与离轴抛物镜(3)的焦点重合，并且球面波前经过离轴抛物镜(3)的反射后形成与离轴抛物镜(3)的有效口径等大的平面波前；步骤三、调整步骤一获得的计算全息图(2)的位置，使激光干涉仪(1)发出的球面波前经过计算全息图(2)和离轴抛物镜(3)后，获得与标准自由曲面波前一致的波前；步骤四、调整被检测平面基自由曲面(4)的位置，使激光干涉仪(1)发出的球面波前经过计算全息图(2)和离轴抛物镜(3)后与步骤三产生的波前发生干涉，产生干涉条纹；步骤五、采用激光干涉仪(1)测量步骤四获得的干涉条纹，获得被检测平面基自由曲面(4)的面形精度。